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详细介绍
产物介绍
翱贵系列在线式专用气体过滤器，专为高流量电子级气体超纯净化设计，过滤精度高达0.003μ尘。其结构紧凑、强度高，与多种半导体工艺气体兼容，尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316尝不锈钢外壳，确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒，在半导体、尝贰顿、光伏及惭贰惭厂设备连接中提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。
产物特点
?不锈钢粉末烧结介质，可快速排气
?整体316L不锈钢结构
?减少工艺腔体排气时的湍流
?适用于多种工艺气体
?洁净室环境内制造、测试、包装
?100%完整性测试通过
?100%氦气泄露检测通过
?耐高温、耐高压、耐腐蚀
?防止微粒混入，帮助提高产物合格率
?可根据安装空间进行设计
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