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详细介绍
产物介绍
大流量气体过滤器，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计，采用全316L不锈钢精密打造，多柱状或迭盘状介质设计确保高流通量下低阻损，过滤精度高达0.003μm，满足超高纯工艺需求。整体金属构造，是高温动态环境下的理想过滤解决方案
产物特点
?不锈钢粉末烧结介质，可快速排气
?整体316L不锈钢结构
?减少工艺腔体排气时的湍流
?适用于多种工艺气体
?洁净室环境内制造、测试、包装
?100%完整性测试通过
?100%氦气泄露检测通过
?耐高温、耐高压、耐腐蚀
?防止微粒混入，帮助提高产物合格率
?可根据安装空间进行设计
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