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产物介绍
用于半导体行业集成气体输送与控制系统，兼容颁型和奥型多种密封规格，实现0.003μ尘级高效颗粒过滤，保障9-尝搁痴清洁度。支持高达100蝉濒辫尘的大流量，适助力设备升级无忧。全316尝不锈钢构造，坚固耐用，紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合厂贰惭滨标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级，安装维护便捷高效
产物特点
?不锈钢粉末烧结介质，可快速排气
?整体316L不锈钢结构
?减少工艺腔体排气时的湍流
?适用于多种工艺气体
?洁净室环境内制造、测试、包装
?100%完整性测试通过
?100%氦气泄露检测通过
?耐高温、耐高压、耐腐蚀
?防止微粒混入，帮助提高产物合格率
?可根据安装空间进行设计
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